科林研制（Lam Research）宣告推出业界最先进的导体蚀刻技能“Akara”，为电浆蚀刻范畴的突破性立异，也是现在最先进的导体蚀刻机台，并战胜芯片制作商面对的要害微缩应战。
科林研制指出，Akara具有新颖的电浆处理技能，可完成3D芯片制作所需的杰出蚀刻精度和功能。现在Akara已被抢先的组件制作商选为多种先进平面DRAM和芯片代工GAA使用的出产机台。
科林研制指出，Akara支撑盘绕式闸极（GAA）晶体管和6F2 DRAM和3D NAND组件的微缩，而且可扩展至4F2 DRAM、互补场效晶体管和3D DRAM。这些组件要求具应战性的要害蚀刻过程和准确的极紫外光（EUV）微影图画，以构成杂乱的3D结构。要构建深宽比渐渐的升高的细小特征结构，要到达埃米级的精度，这已超出现在主流电浆蚀刻技能的才能。
科林研制全球产品事务群资深副总裁Sesha Varadarajan表明，新式蚀刻机台使用科林研制专利DirectDrive技能，可使电浆反响速进步100倍，在受控条件下创建出原子级特征结构。Akara在导体蚀刻方面完成了跨年代的跃升，可在3D芯片年代下打造细小、杂乱的结构。
台积电执行副总经理暨一起首席运营官米玉杰指出，要战胜这些新组件带来的许多出产应战，要害的电浆蚀刻才能是不可或缺的重要一环。
Akara专为大量出产所规划，能以毫秒级的反响时间完成最大制程良率及芯片产出优化。先进的蚀刻均匀度控制才能可保证芯片到芯片的可重复性。经过集成至科林研制的高出产力Sense.i渠道，Akara可使用Equipment Intelligence解决方案进行主动保护，削减全体设备修理费用。这些集成功能使芯片制作商从制作设备中取得更高的价值。
除了发布Akara，科林研制也同步推出全球首款投入出产的钼原子层堆积设备ALTUS Halo，展示科林研制致力于供给技能立异。
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包含在内)为自媒体渠道“网易号”用户上传并发布，本渠道仅供给信息存储服务。
毁三观！成都男女强占母婴室干柴烈火，疑相片曝光，身段很好！
3言两语：购机焦虑和养黄牛的人们/
主站 商城 论坛 自运营 登录 注册 3言两语：购机焦虑和养黄牛的人们 伊東 2025-04-22 回来专栏主页...
绘王推出 Kamvas Slate 11/13 平板电脑：全贴合屏，4096 级压感
